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360°除静电FFU
1 实现高效HEPA/超高效ULPA空气过滤。
2 空间静电值控制在35V以下,降低静电损害。
3 结合物联网技术、传感技术及数字化监控系统,实现空间洁净度及ESD闭环监控。
4 低温冷等离子空间密集分布,中和生产环境静电及Particle表面静电。
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